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化學機械研磨過程中研磨墊的溫度控制系統

1147   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:50
本發明公開了一種化學機械研磨過程中研磨墊的溫度控制系統，其中，包括溫度探測器和空氣壓縮機溫控系統，所述空氣壓縮機溫控系統包括空氣壓縮機和氣體管路，所述空氣壓縮機和所述氣體管路相互連接并形成閉合回路，所述氣體管路設在研磨墊和位于研磨墊下方的獨立平臺之間，還包括主控制器，所述溫度探測器、所述空氣壓縮機溫控系統分別與所述主控制器連接。本發明通過控制研磨墊的溫度使得晶圓在化學機械研磨制程中的溫度得到控制，使拋光液的化學特性比如選擇比、去除率等保持在最佳值，延長研磨墊的使用時間，提高晶圓的平坦性和穩定性。
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