本發明涉及一種化學氣相沉積方法、載具、電池片及異質結電池,由于非遮蔽區的外邊緣環繞有環形遮蔽區,從而能夠有效的避免N層摻雜磷原子膜層繞鍍到了反面與非遮蔽區上的i層鈍化層及P層摻雜硼原子膜層相接觸,進而能夠避免N層摻雜磷原子膜層中的磷原子穿過i層鈍化層而與P層摻雜硼原子膜層導通,從而能夠有效的避免生產出來的異質結電池的并阻偏低的問題,在EL檢測過程中也不會出現邊角發黑的問題,保證產品良率。
聲明:
“化學氣相沉積方法、載具、電池片及異質結電池” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)