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化學機械拋光設備

796   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:59:02
本發明公開一種化學機械拋光設備，包括主體，其特征在于在所述主體內設有能把拋光體夾緊的夾緊裝置，在所述主體一側設有拋光面檢測裝置，在所述主體上側設有能把工件拋光的旋轉切換容器機構，本發明結構簡單，使用方便，與現有技術相比，當需要使用各種化學性試劑為工件拋光時，可將其不同試劑放置不同的容器，切換時只需簡單操作便可完成切換所用試劑，十分方便。
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聲明：
“化學機械拋光設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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