本發明公開了利用微波等離子體化學氣相沉積法制備納米金剛石薄膜的方法,涉及金剛石薄膜技術領域,包括以下步驟:步驟S1:準備工序襯底和金剛石;微波等離子體化學氣相沉積設備、磁控濺射儀和勻膠機;丙酮溶液、乙醇溶液、氫氟酸和去離子水;步驟S2:初步處理;步驟S3:再次處理,將研磨后的襯底置于丙酮溶液、乙醇溶液、氫氟酸和去離子水中依次進行清理;清理完成后對襯底進行烘干;步驟S4:附著層制備;步驟S5:啟動制膜;步驟S6:后續處理;步驟S7:制件和分析。本發明具備了步驟簡便雜質較少,通過附著層的設置可提高結構之間的附著力,且本方法具有所制成的薄膜其成核密度較高的效果。
聲明:
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