本發明公開了一種設有泵送管道壓力監控裝置的化學干法蝕刻機,包含通過泵送管道依次連接的工藝室、隔離閥、自動壓力控制器及干泵;自動壓力控制器與干泵之間設置數字壓力檢測器;數字壓力檢測器設置在泵送管道的外側;數字壓力檢測器用于檢測泵送管道壓力改變。泵送管道外側均布多個O型圈。本發明能夠監控泵送管道的壓力改變,實時消除泵送管道前級APC組件和隔離閥的故障,防止泵送管道泄露。
聲明:
“設有泵送管道壓力監控裝置的化學干法蝕刻機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)