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液體輸送系統和化學機械研磨裝置

830   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:58:59
本實用新型提供一種應用于化學機械研磨的液體輸送系統和包括液體輸送系統的化學機械研磨裝置,其中所述液體輸送系統包括:輸送管;用于控制輸送管通斷的控制開關和分配器,所述分配器位于所述輸送管的其中一個末端,具有與所述輸送管相通的一個或多個噴嘴;以及與所述輸送管相連的流量控制器,用于檢測并提供研磨溶液的流量信息。相較于現有技術,本實用新型能夠對輸送的研磨溶液的流量進行管控,避免出現因流量過高或過低而影響待研磨晶片在化學機械研磨中的去除率的問題,從而制作出符合要求的合格產品,提高產品的良率。
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