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晶圓化學鎳自動添加控制系統

1046   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:22
本實用新型公開了一種晶圓化學鎳自動添加控制系統，包括取樣冷卻預處理單元，取樣測量單元、電器控制單元以及定量添加單元，通過取樣泵將化學鍍鎳槽中的藥液泵入取樣冷卻預處理系統進行冷卻，使得抽取的藥液能夠維持在設定溫度范圍內進入pH值檢測裝置以及鎳濃度檢測裝置，以實時反饋pH值和鎳濃度值，電器控制單元能夠根據反饋的pH值和鎳濃度值實時控制計量泵向化學鍍鎳槽內泵入添加劑，以達到化學鍍鎳過程中藥液消耗成分的及時補充。
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“晶圓化學鎳自動添加控制系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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