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成像分析裝置

728   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 06:54:47
本發明的成像質量分析裝置具備:分析執行部(1),對設定在試樣(50)上的二維或試樣中的三維測量區域(50)內的多個微小區域執行規定的分析,收集數據;第1圖像創建部(21),用分析執行部(1)得到的數據創建分別反映試樣(50)包含的特定的一個或多個成分分布的一個或多個第1分布圖像;運算式存儲部(23),至少預先存儲包含一個或多個特定成分作為要素的化學反應式、或包含該特定成分的量作為要素的計算式作為運算式;信號值計算部(25),用根據用戶指示從運算式存儲部(23)獲取的運算式,根據構成一個或多個第1分布圖像的各微小區域的信號值,算出其他信號值;第2圖像創建部(26),基于計算結果創建第2分布圖像。
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