本實用新型是一種揮發性有機氣體蓄熱燃燒處理系統,包括:一入流廢氣預先加熱單元、捕集網與重力沉降集塵處理單元與多管旋風集塵處理單元。其中,將制程機臺所排放的VOCS廢氣,以制程機臺風管銜接單元輸入廢氣預先加熱單元,將廢氣預先加熱,使得廢氣中的有機物質形成膠狀型態與無機物質(硅化合物)氧化為二氧化硅固體型態,經捕集網與重力沉降集塵處理單元截除膠狀物質與大顆粒固體物質,再經多管旋風集塵處理單元截除較小顆粒固體物質,并經排放風管銜接單元排放至后段VOCS再生燃燒處理系統(RTO)進行VOCS處理,以達到保護RTO內部蜂巢式蓄熱燃燒處理系統的目的。
聲明:
“揮發性有機氣體蓄熱燃燒處理系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)