本實用新型涉及鋰電池技術領域,尤其涉及一種共蒸發裝置和制備電極的設備。本實用新型的共蒸發裝置包括多個蒸發位、蒸發腔、至少一擋板以及基片臺,多個蒸發位、擋板及基片臺均收納在蒸發腔內,多個蒸發位和基片臺分別位于擋板的兩側,至少一擋板形成有一匯流口,多個蒸發位用于安裝多個相同或者不同的蒸料,多個蒸發位上的多個蒸料蒸發產生的多個原子匯合在匯流口處形成一混合沉積源,基片臺用于承載基片且相對于匯流口可移動。本實用新型的共蒸發裝置和制備電極的設備可以同時進行多種蒸料的蒸發沉積鍍膜,結構簡單,操作方便,生產效率高,符合大規模生產的需求。
聲明:
“共蒸發裝置和制備電極的設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)