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高頻表面聲波元件

944   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:25:33
本發明是一種高頻表面聲波元件,尤指一種可通過調整其所具的納米鉆石膜層的厚度而輕易地調整其中心頻率的高頻表面聲波元件。本發明的高頻表面聲波元件包括:一硅基板;一納米鉆石膜層,是位于此硅基板之上;一壓電層,形成于此納米鉆石膜層的表面;一輸入轉換部;以及一輸出轉換部;其中,此輸入轉換部與此輸出轉換部成對地設置于此壓電層的表面或其下方。此外,前述的納米鉆石膜層的厚度較佳介于0.5ΜM至20ΜM之間,前述的壓電層的材質較佳包括氧化鋅、氮化鋁或鈮酸鋰,壓電層的厚度則較佳介于0.5ΜM至5ΜM之間。
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“高頻表面聲波元件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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加工技術
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