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電化學器件中電極層上的固態電解質的沉積

834   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:22:22
本文所描述的是針對在電極(例如Li金屬、LiCoO2、WO3、NiO等)上沉積LiPON、或其它的鋰離子傳導性電解質、薄膜的，用于改良薄膜電化學器件(例如薄膜電池和電致變色器件)的制造的方法和設備。一種在沉積系統中制造電化學器件的方法可以包含：大致上在電化學器件的電極層的一部分表面的周圍設置導電層；將導電層電連接到導電的、但電浮動的表面；以及在沉積室內、在電化學器件的電極層的所述一部分表面上沉積鋰離子傳導性固態電解質層，其中沉積包含在沉積室內形成等離子體；其中在沉積的過程中，導電的、但電浮動的表面在沉積室內。
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