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方法

1014   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:02:46
本發明提供用于制備無定形的硼硅酸鋰或摻雜硼硅酸鋰化合物的氣相沉積方法，該方法包括：提供化合物的各組成元素的蒸氣源，其中該蒸氣源包括至少鋰源、氧源、硼源和硅源、以及任選地至少一種摻雜劑元素的源；輸送所述鋰、所述氧、所述硼和所述硅、以及任選地所述摻雜劑元素的物流；和將來自蒸氣源的組成元素共沉積在基底上，其中組成元素在該基底上反應以形成無定形化合物；其中無定形的硼硅酸鋰或摻雜硼硅酸鋰化合物具有在40?65原子％范圍內的鋰含量，基于鋰、硼和硅的組合的原子百分數計。
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“方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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