一種基于鈮酸鋰?硅晶圓的光電單片集成系統包含集成光路模塊、光電轉換模塊與集成電路模塊通過半導體CMOS工藝集成在同一襯底上,避免了模塊間的封裝。實現真正的單片集成,分別進行光信號的傳輸與處理、光信號轉換為電信號、電信號的傳輸與處理。本發明發揮了鈮酸鋰材料優異的電光性能與硅基材料的優勢,從而使得光電系統具備更優異的性能。
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