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鎵酸鋰襯底上的垂直結構非極性LED芯片及其制備方法

1096   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:48:07
本發明公開了鎵酸鋰襯底上的垂直結構非極性LED芯片及其制備方法，該方法在鎵酸鋰襯底上生長LED外延片，包括生長在鎵酸鋰襯底上的GaN緩沖層，在GaN緩沖層上的非摻雜GaN層，在非摻雜GaN層上的n型摻雜GaN薄膜，在n型摻雜GaN薄膜上的InGaN/GaN量子阱，在InGaN/GaN量子阱上的p型摻雜GaN薄膜。接著在LED外延片表面通過勻膠、光刻、顯影、清洗步驟制備電極圖案，在外延片上表面依次沉積電極金屬。隨后將LED外延片轉移至銅襯底上。接著用HCl溶液將原有鎵酸鋰襯底剝離，制備二氧化硅保護層，將電極對應部分暴露出來，再將電極上的SiO2腐蝕掉，形成完整的垂直結構LED芯片。
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聲明：
“鎵酸鋰襯底上的垂直結構非極性LED芯片及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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加工技術
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