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新能源汽車用SiC第三代功率半導體晶片切割液

841   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 19:57:17
本發明公開了一種新能源汽車用SiC第三代功率半導體晶片切割液，由脂肪醇、高分子聚醚、表面活性劑、清洗助劑、硅粉分散劑、緩蝕劑、滲透劑、消泡劑、純水組成。本發明可有效解決晶片切割過程中出現的微裂、崩邊、外延層錯、滑移位借等性能質量問題，滿足晶片高品質的切割工藝要求，大幅提高加工切割生產效率。
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“新能源汽車用SiC第三代功率半導體晶片切割液” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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