一種V型梁復合材料電熱微驅動器,用于微機電系統技術領域。本發明包括包括聚合物、金屬彈簧結構、導電觸點,聚合物完全包裹金屬彈簧結構形成的V型懸臂梁,V型懸臂梁位于兩個導電觸點上,兩個導電觸點位于驅動器兩端。本發明借助聚合物包裹金屬彈簧的復合結構,在保留了傳統電熱微驅動器驅動電壓小、驅動力大的優點的同時,實現了低功耗大位移,降低了制造成本。當懸臂梁驅動前端導電觸點接入外部電路時,便可作為微繼電器或微機械開關使用。
聲明:
“V型梁復合材料電熱微驅動器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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