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PMU泵浦結構及其形成方法

855   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本發明揭示了一種PMU泵浦結構及其形成方法。該結構包括呈鏡像對稱的第一部分和第二部分，所述第一部分包括：半導體基底；形成于所述半導體基底上的外延層；形成于所述外延層中的第一障礙層；形成于所述外延層上的功能層，所述功能層包括距離第二部分自遠及近排列的第一P+區、第一N+區、第二P+區及第二N+區；以及位于所述功能層上的金屬互連層，所述金屬互連層使得第一N+區及第二P+區等電勢；所述第一障礙層與功能層之間形成有外延層。通過使得第一N+區及第二P+區等電勢，避免了第一N+區和第二P+區之間產生壓降，防止了外延層、第一障礙層及半導體基底之間漏電流的產生。
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