本發明公開了一種直流電場誘導合金定向凝固生長、強化合金精煉過程的工藝:將Si?M母合金加熱至相應的液相線溫度,得到Si?M合金熔體,在Si?M合金熔體中引入直流電場使Si?M合金熔體中的硅原子發生定向移動,在石墨坩堝的底部富集,形成過飽和區域,從而在晶硅襯底上形核、生長;在生長過程中,由石墨坩堝頂部連續添加原料硅,實現晶體硅的連續生長。生長結束后,關閉熱源,冷卻凝固后關閉直流電源。本發明實現高精準度的定向生長模式,有效降低了精煉溫度,以及各種雜質的分凝系數,減少能耗,增強了提純效果,使不同雜質在電場作用下重新分布,通過不斷添加原料硅,在凝固析出硅的同時能源源不斷地提供硅原子,實現硅的連續生長。
聲明:
“直流電場誘導合金定向凝固生長、強化合金精煉過程的工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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